Робот серии TTS может получить доступ к 2 и 3 FOUP EFEM без гусеницы. Специально разработанная система привода позволяет роботу двигаться невероятно плавно и с высокой точностью. Кроме того, его жесткий телескопический механизм обеспечивает высокоскоростное управление в высоких и низких положениях.

Серия соответствует стандарту SEMI-F47, а также стандарту SEMI-S2.

Характеристики: