Робот серии NTS может получить доступ к 2 и 3 FOUP EFEM без гусеницы. Специально разработанная система привода позволяет роботу двигаться невероятно плавно и с высокой точностью.

Серия соответствует стандарту SEMI-F47, а также стандарту SEMI-S2.

Характеристики:

• Макс. досягаемость  1066 мм
• Категория роботов  Роботы для переноса пластин
• Монтаж  Пол
• Серия роботов  Серия NTS
• Приложения  Обработка кремниевых пластин